ERT先进的表面轮廓测量与检测

便携式三维轮廓测量仪

仪器设备的基本技术参数

●  型号:MS100

●  XY轴行程：100mm x 100mm

●  Z轴行程：100mm

●  Z轴量程：4mm(可选配50nm-24mm）

●  光斑直径：8um(可根据光笔不同型号选择，小可小于2um)

●  XY轴分辨率：50nm

●  XY轴平面度:<2um

●  XY轴重复定位精度：0.5um

●  Z轴线性度：0.01%F.S

●  Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)

●  XY轴大扫描速度：20mm/s

●  样品可测大倾角：漫反射表面大87度

●  适用范围：任何材质表面，尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试

功能与应用

● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量

● 多层透明体厚度测量

●  2D轮廓/3D微观形貌扫描分析

●  2D/3D粗糙度测量

●  可配合产线定制非标自动化检测方案等

光谱共焦位移传感器原理简介

     1. 一束白光穿过小孔S，照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光，每一个波长对应一个固定的距离值。

     2. 当对象出现在测量区域的时候，一个特定波长的单色光正好照射在其表面，并且反射进光学系统。

     3. 此反射光通过一个小孔S,,（只有完美聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔），由波长识别系统(光谱仪)识别其波长，从而得到其所代表的精确距离值。

      4.由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值.